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【No.0612-31】 | |||||||||
● ツルーイング・ドレッシングに関するお話9 −細溝加工用薄幅砥石成形法−
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シリコンウェハなどの切断あるいは、タイバーカットなどの高精度の溝加工には、あらかじめ薄く成形されたダイヤモンドホィール(例えばU-Formingホィール)が使用されますが、コネクター金型などの任意の溝幅の溝を研削加工により細溝成形するには、一般焼成砥石を溝幅より薄く成形する必要が有りますが、かなり難しい作業になります。また、細溝加工を行うには、成形法だけでなく砥石の選定が重要になります。すなわち、薄幅砥石を成形するには、砥石幅よりさらに細かい砥粒の砥石を選ぶ必要があります。特に、極細溝加工用の砥石は、砥粒数個分の厚みしか有りません(右図参照)。従って極薄幅砥石を製造するには、粒度の細かい砥粒(#800,#1000,#1200:平均粒径20〜13μm)を用いる必要があります。
細溝成形用の一般焼成砥石として弊社では『UKシリーズ(超精密成形細溝加工用)研削砥石』を提供しており、この砥石の細溝成形ドレッサーとして、『Wディスクロータリードレッサー』(図4,5)を提供しております。
これは、モータにより回転駆動される縦型の2つのダイヤモンドホィールの間を砥石を通過させて行います。
このときの、注意事項として、以下の点が上げられます。
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